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                  SpecEl椭偏仪
                  • 名称:SpecEl椭偏仪
                  • 型号:SpecEl
                  • 品牌:Ocean Optics
                  • 描述:SpecEl椭偏仪通过测量基底反射的偏振光,进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实...
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                  SpecEl 椭偏仪

                        SpecEl椭偏仪通过测量基底反射的偏振光,进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率,吸光率及膜厚的测量。


                  技术参数

                  波长范围:

                  380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选)

                  光学分辨率

                  4.0 nm FWHM

                  测量精度

                  厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%

                  入射角

                  70°

                  膜厚

                  单透明膜1-5000 nm

                  光点尺寸

                  2 mm x 4 mm (标准) 或 200 μm x 400 μm (可选)

                  采样时间

                  3-15s (小)

                  动态记录

                  3 seconds

                  膜层数

                  至多32层

                  参考

                  不需要

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